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SF6气体瓷套管有损漏气。在运输和安装过程中，由于外力作用，可能使瓷套管有损，导致漏气。另外，瓷套与法兰胶合处，胶合不良；瓷套与胶垫连接处，胶垫老化或位置未放正等也会导致漏气。

SF6断路器和GIS下的SF6气体泄漏条款中明确规定：目前,SF6检漏仪的灵敏度已经较高,可以满足年泄漏率不大于0.5%的要求,且原用的包扎法测量很不准确,现场实施困难,帮标准中增加”可采用灵敏度不低于1×10-6(体积比)的检漏仪检测各密封面无泄漏。

电器设备内的SF6气体及分解物与绝缘材料反应而生成某些有毒产物。如与含有硅成分的环氧酚醛玻璃丝布板(棒、管)等绝缘件;或以石英砂、玻璃作填料的环氧树脂浇注件、模压件以及瓷瓶、硅橡胶、硅脂等起化学作用，生成SiF4、Si(CH3)2F2等产物。